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六氟化硫(SF₆)

六氟化硫为无色、无味、不燃烧，无电抗性的，相对无毒、仅有窒息性的液化气体。

主要应用于电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等气的绝缘体，致冷剂、示踪装置、医疗、半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气、检漏气体、色谱仪的载气。